4. Conclusion
Si durant de nombreuses années, la microscopie électronique à balayage a connu peu de bouleversements importants, le développement depuis une quinzaine d'années des canons à émission de champ (principalement par émission Schottky) a modifié considérablement la technique. Le développement de nouveaux concepts de colonnes électroniques et de nouveaux détecteurs a permis d'étendre les possibilités de ces microscopes, en particulier au niveau de la résolution en imagerie mais aussi dans les capacités d'observation à basse et très basse tension. En contrepartie l'interprétation des contrastes est devenue souvent plus compliquée, les émissions électroniques secondaires et rétrodiffusées ne suivant plus à basse tension les mêmes règles qu'aux tensions plus élevées (cf.
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