6. Conclusions
La microscopie électronique à balayage est un outil puissant d'observation des surfaces. Il permet couramment désormais de former à partir des électrons secondaires des images de la surface simultanément avec une grande profondeur de champ et un excellent pouvoir séparateur à des grandissements de 10 à 40 000.
Les images de MEB peuvent être facilement associées à des microanalyses et cartographies élémentaires obtenues par spectrométrie des rayons X. Elles se prêtent facilement à la numérisation et au traitement des images.
Il existe une large gamme d'appareillages classés sommairement en quatre familles :
les microscopes électroniques à balayage conventionnels, dont toute la colonne est placée sous vide poussé et les performances maximales surtout liées à la nature de la source d'électrons employée ;
les microscopes haute résolution,...
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