8. Glossaire
DCPV, dépôt chimique à partir de la phase vapeur ; CVD, chemical vapor deposition
Procédé permettant de fabriquer des solides par réaction gaz-solide à partir d’un gaz précurseur et d’un substrat solide à température suffisamment élevée. Parmi les nombreuses variantes de la CVD, on trouve :
PECVD : plasma-enhanced CVD ; la phase gaz est remplacée par une phase plasma, ce qui permet de baisser fortement la température de travail ;
LCVD : laser-CVD ; l’apport énergétique est localisé grâce au laser, ce qui permet de localiser les dépôts et faire par exemple du prototypage rapide (impression 3D) ;
FBCVD : fluidized-bed CVD ; on travaille en lit fluidisé : le substrat est une poudre, dont l’agitation par circulation de gaz permet d’éviter l’agglomération ;
CVI :...
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