Bibliographie
La centrale de micro-nanotechnologie IEF-Minerve

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NM1300 V1 Archive

Bibliographie
La centrale de micro-nanotechnologie IEF-Minerve

Auteur(s) : Jean-Michel LOURTIOZ, Jean AUBERT, Frédéric HAMOUDA, Jean-Luc PERROSSIER

Date de publication : 10 octobre 2005

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Références FEYNMAN (R.) There's plenty of room at the bottom. Eng. Sci. 23, p. 22-36 (1960) : voir aussi le site : http://www.zyvex.com/nanotech/feynman.html WHYTE (W.) Les technologies de Salle Propre, Principes de conception, de qualification, d'exploitation. SB.COM Éditeur, ISBN 2-9517425-4-1, 1 re  édition (2003). Guide de l'Ultra-Propreté. 5 e  édition. BCMI SA – Bureau pour la Connaissance des Marchés Industriels – Études et conseils (2005). DE LABACHELERIE (M.) Techniques de fabrication des microsystèmes. Hermes, Lavoisier (2004). DUPAS (C.) HOUDI (P.) LAHMANI...
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