3. Mesure des pressions partielles
Il existe de nombreux cas d’utilisation d’appareils sous vide où la connaissance de la composition de l’atmosphère raréfiée est aussi importante que la mesure de sa pression totale. On peut citer, à titre d’exemple, la fabrication de résistance de nitrure de tantale par pulvérisation cathodique, où les impuretés modifient sensiblement la résistivité des couches déposées. On a donc besoin, pour cette analyse, de spectromètres adaptés au fonctionnement sous vide, qui sont en général électromagnétiques (spectromètres de masse).
Comme leur nom l’indique, les spectromètres de masse sont des appareils qui trient les molécules en fonction de leur masse. Pour ce faire, on opère sur des ions dont la trajectoire dans un champ électromagnétique est déterminée par la valeur du champ lui‐même, l’énergie des ions et le rapport m /q de la masse de l’ion à sa charge. On voit donc que, dans un champ donné, la trajectoire ne sera déterminée que par le rapport m /q.
La spectrométrie de masse constitue une technique difficile ; nous décrirons...
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