3. Instrument
Un microscope électronique à balayage est constitué des éléments suivants (figure 1) :
• Une colonne électronique, comprenant un canon à électrons, plusieurs lentilles électromagnétiques (« condenseurs »), un certain nombre de bobines électriques d’alignement et de réglages, et un dispositif de balayage électronique du faisceau.
Cette colonne est maintenue sous vide à un niveau minimum de 10–3 Pa. Dans les microscopes courants, le vide nécessaire est obtenu par une pompe primaire à palettes couplée avec un système de pompage secondaire constitué soit d’une pompe à diffusion d’huile (ou parfois de deux en cascade), soit d’une pompe turbomoléculaire. Certains dispositifs plus performants exigent, au niveau du canon à électrons, un pompage ionique et/ou technique d’ultravide.
• Une chambre « objet », où...
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