Article

1 - RÉCUPÉRATION D'ÉNERGIE MÉCANIQUE. STRUCTURES ÉLECTROSTATIQUES

2 - PRINCIPE DE LA RÉCUPÉRATION D'ÉNERGIE MÉCANIQUE PAR SYSTÈMES ÉLECTROSTATIQUES

3 - STRUCTURES DE RÉCUPÉRATION D'ÉNERGIE MÉCANIQUE PAR PHÉNOMÈNES ÉLECTROSTATIQUES

4 - BILAN ET LIMITES

5 - CONCLUSION ET PERSPECTIVES

| Réf : RE160 v1

Microstructures électrostatiques de récupération d'énergie vibratoire pour les microsystèmes

Auteur(s) : Sébastien BOISSEAU, Ghislain DESPESSE, Jean-Jacques CHAILLOUT, Alain SYLVESTRE

Date de publication : 10 oct. 2010

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RÉSUMÉ

Les microsystèmes électromécaniques (MEMS) sont présents dans de nombreux domaines tels que le transport, la défense ou les télécommunications, et permettent, sur de petites surfaces, de réaliser des fonctions de capteurs et d'actionneurs. Pour ce faire, le MEMS a besoin d'une source d'énergie. Jusqu'à présent cette fonction est assurée par des batteries dont le principal défaut est la durée de vie. Une solution consiste donc à récupérer l'énergie dans l'environnement immédiat du microsystème. Cet article s'intéresse à la récupération de l'énergie vibratoire par des systèmes électrostatiques, et présente les principes de conversion ainsi qu'un état de l'art.

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Auteur(s)

INTRODUCTION

Résumé

Les MEMS (microsystèmes électromécaniques) sont présents dans de nombreux domaines tels que le transport, la défense ou les télécommunications... et permettent, sur de petites surfaces, de réaliser des fonctions de capteurs et d'actionneurs. Pour ce faire, le MEMS a besoin d'une source d'énergie. Jusqu'à présent, cette fonction est assurée par des batteries dont le principal défaut est la durée de vie limitée. Une solution consiste donc à récupérer l'énergie dans l'environnement immédiat du microsystème. Nous nous intéressons ici à la récupération de l'énergie vibratoire par des systèmes électrostatiques, et en présentons les principes de conversion, ainsi qu'un état de l'art.

Abstract

MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) are present in many fields such as transportation, defense and telecommunications... and can, with small dimensions, perform functions of sensors and actuators. To do so, MEMS require a source of energy. So far, this function is provided by batteries whose main fault is the limited lifetime. One solution is to harvest energy in the immediate vicinity of the microsystem. Here we focus on the harvesting of vibrational energy by electrostatic systems, and present the principles of conversion and a state of the art.

Mots-clés

MEMS, récupération d'énergie, systèmes autonomes, électrets, systèmes capacitifs, systèmes électrostatiques, vibrations, conversion d'énergie, smart dusts, décharge Corona

Keywords

energy harvesting, autonomous systems, electrets, capacitive systems, MEMS, electrostatic systems, vibrations, converters, smart dusts, Corona discharge

Points clés

Domaine : énergie

Degré de diffusion de la technologie : Émergence

Technologies impliquées : électrets, fabrication microsystèmes, électronique

Domaines d'application : systèmes autonomes, capteurs sans fils, récupération d'énergie

Principaux acteurs français :

Centres de compétence : CEA Grenoble, ESIEE

Autres acteurs dans le monde : IMEC, Université de Tokyo, Caltech, Imperial College London, Omron, Sanyo

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DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-re160


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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - Technology review MIT -   10 Emerging technologies that will change the world.  - 

  • (2) - CUADRAS (A.), GASULLA (M.), GHISLA (A.), FERRARI (V.) -   Energy harvesting from PZT pyroelectric cells.  -  Proc. IMTC'06 (2006).

  • (3) - ROUNDY (S.J.) -   Energy scavenging for wireless sensor nodes with a focus on vibration to electricity conversion.  -  PhD. Thesis, the university of California, Berkeley (2003).

  • (4) - MITCHESON (P.), YEATMAN (E.), RAO (G.), HOLMES (A.), GREEN (T.) -   Energy harvesting from human and machine motion for wireless electronic devices.  -  Proceedings of the IEEE 96 (2008).

  • (5) - DESPESSE (G.) -   Étude des phénomènes physiques utilisables pour alimenter en énergie électrique des micro-systèmes communicants.  -  Thèse INPG (2005).

  • (6) - KHBEIS (M.), McGEE (J.), RICHARDSON (C.), GHODSSI (R.) -   Design...

1 Sites Internet

EHG - Energy Harvesting Group http://www.linkedin.com

Energy Harvesting and MicroPower http://www.linkedin.com

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2 Événements

Conférence PowerMEMS http://www.powermems.org

Conférence MEMS http://ieeemems.org

International Symposium on Electrets

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3 Brevets

Procédé et dispositif de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique FR2896635.

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