Introduction
La centrale de micro- nanotechnologie IEF-MINERVE

Toute l'évolution de l'électronique des dernières années a été dictée par la miniaturisation. La miniaturisation dans ce domaine s'impose d'elle-même, car :

• d'une part, une plus grande densité de transistors sur les « puces » électroniques offre la possibilité de mémoriser et de traiter un plus grand nombre d'informations ;

• d'autre part, une taille réduite de composants favorise la commutation rapide de ces composants et permet, en fin de compte, un traitement plus rapide des informations.

Depuis les cinquante dernières années, l'évolution des circuits électroniques a ainsi été régie par ce qu'on a appelé la loi de Moore (G. Moore, fondateur d'INTEL), loi prédictive selon laquelle la longueur de grille des transistors CMOS se réduit d'un facteur deux tous les dix-huit mois environ, ce qui revient à un accroissement par un facteur mille du nombre de transistors par puce de silicium tous les vingt ans (figure 1). La loi de Moore a bien été respectée et l'on est près de dépasser 100 millions de transistors par microprocesseur : le rêve du physicien Richard Feynman , qui était de concentrer toute l'encyclopédie universelle sur une tête d'épingle,...