Présentation
Auteur(s)
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François LOUCHET :
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Jean-Louis VERGER-GAUGRY :
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Jany THIBAULT-DESSEAUX :
-
Pierre GUYOT :
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Lire l’articleINTRODUCTION
1 Physique des interactions électron-matière
1.1 Diffusion des électrons par les atomes
1.2 Diffraction par un cristal
1.3 Théorie cinématique de l'image
1.4 Théorie dynamique de l'image
1.5 Objet de phase, objet d'amplitude
1.6 Différents types de signaux émis par l'objet
1.7 Irradiation et excitation de l'objet
2 Instrumentation
2.1 Canon à électrons
2.2 Système électro-optique
2.3 Aberrations et fonction de transfert
2.4 Dispositif anticontamination
2.5 Accessoires
3 Modes de fonctionnement
3.1 Image
3.2 Diffraction
3.3 Modes analytiques (MEBT ou MET)
4 Performances
4.1 Résolution spatiale
4.2 Profondeur de pénétration
4.3 Résolution en énergie des modes analytiques
4.4 Stéréoscopie en MET
4.5 Influence de la tension d'accélération
5 Exemples d'utilisation
5.1 Caractérisation des défauts
5.2 Caractérisation de phases cristallines
5.3 Structure cristalline et défauts en microscopie électronique hauterésolution
5.4 Expériences in situ
5.5 Biologie
6 Conclusion
Bibliographie
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