
- Article de bases documentaires |
- 10 oct. 2007 |
- Réf : NM556
Nanophotolithographie en champ proche
» de l’UTT. Ses domaines de recherches concernent l’optique de champ proche, la nano... et qui repose sur l' utilisation du champ proche où la résolution, régie par la physique des ondes... , l'évolution et les enjeux de la lithographie optique (§ 2), les principes de l'utilisation du champ... des motifs dont l'extension spatiale est 2 à 3 fois plus faible que celle du champ actinique...
Les articles de référence permettent d'initier une étude bibliographique, rafraîchir ses connaissances fondamentales, se documenter en début de projet ou valider ses intuitions en cours d'étude.