Glossaire

Ellipsométrie : définition

Technique optique d'analyse de surface fondée sur la mesure du changement de l'état de polarisation de la lumière après réflexion sur la surface plane d'un échantillon. Elle permet de caractériser les compositions, les structures et les morphologies des matériaux en couche mince présents sur un substrat. Le type d'information accessible dépend de la configuration et du domaine de longueur d'onde de la source lumineuse.

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