Article

1 - INSTRUMENTATION

2 - EXTENSIONS

3 - DOMAINES D’APPLICATIONS

  • 3.1 - Microélectronique
  • 3.2 - Écrans plats (Flat Panel Display )
  • 3.3 - Photonique et télécommunications
  • 3.4 - Autres domaines d’applications

4 - COMPARAISON AVEC D’AUTRES TECHNIQUES

Article de référence | Réf : R6491 v1

Ellipsométrie - Instrumentation et applications

Auteur(s) : Frank BERNOUX, Jean-Philippe PIEL, Bernard CASTELLON, Christophe DEFRANOUX, Jean-Hervé LECAT, Pierre BOHER, Jean-Louis STEHLÉ

Date de publication : 10 juin 2003

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RÉSUMÉ

Cet article présente les applications concrètes de l'ellipsométrie, technique optique d'analyse de surface. Il détaille un ellipsomètre à polariseur tournant, et présente quelques développements et extensions récents de cette technique. Les domaines d’application de l’ellipsométrie sont ensuite présentés, puis un comparatif avec d’autres techniques d’analyse de surface est dressé.

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Auteur(s)

INTRODUCTION

Lprès avoir étudié dans l’article les principes de l’ellipsométrie et les techniques d’acquisition et de traitement du signal, nous allons dans cette partie décrire plus en détail l’instrumentation, dans le cas d’un ellipsomètre à polariseur tournant, et présenter quelques développements et extensions récents de cette technique telle que décrite dans le premier article. Nous dressons un panorama rapide des domaines d’application de l’ellipsométrie et terminons par un comparatif avec d’autres techniques d’analyse de surface.

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De la conception au prototypage, jusqu'à l'industrialisation, la référence pour sécuriser le développement de vos projets industriels.

DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-r6491


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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - AZZAM (R.M.A.), BASHARA (N.M.) -   Ellipsometry and polarized light.  -  North Holland (1977).

  • (2) - ASPNES (D.E.), STUDNA (A.A.) -   High precision scanning ellipsometer.  -  Applied Optics vol. 14, no 1, janv. 1975.

  • (3) - ERMAN (M.) -   Ellipsométrie spectroscopique du proche IR au proche UV.  -  Thèse de 3e cycle. Université d’Orsay, mars 1982.

  • (4) - DREVILLON (B.), PERRIN (J.), MARBOT (R.), VIOLET (A.), DARBY (J.L.) -   A fast polarization modulated ellipsometer.  -  Rev. Scientific Instr. 53 (7), juill. 1982.

  • (5) - ASPNES (D.E.) -   The analysis of optical spectra by Fourier methods.  -  Surface Science 135, p. 284-306 (1983).

  • (6) - COURDILE (H.), STEERS (M.), THEETEN (J.B.) -   *  -  Brevet d’invention no 8020838, sept. 1980.

  • ...

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