Glossaire

Laser excimère : définition

Type de laser ultraviolet couramment utilisé en PLD. Il est basé sur un excimère, dimère qui n’est stable qu’à l’état excité et qui se dissocie à l’état fondamental. Les lasers excimères les plus utilisés en PLD sont KrF* à 248 nm et ArF* à 193 nm.
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