Lithographie par laser appliquée à des structures 3D
La société Nanoscribe a amélioré sa technique de lithographie 3D laser de façon à pouvoir réaliser des structures à l’échelle nanométrique de grande hauteur.
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Technique optique qui permet de transférer une image (généralement présente sur un masque) sur un substrat. On utilise en général une couche intermédiaire photosensible (résine ou PMMA, polyméthacrylate de méthyle). C'est une des méthodes principales de fabrication de masse des circuits de la microélectronique.
L’impression 3D, basée sur un principe additif (approche ascendante), a émergé en 1984 grâce au couplage matière-énergie, avec la stéréolithographie comme première technologie. Ce procédé repose sur une polymérisation monophotonique résolue dans l’espace. Depuis, d’autres procédés ont pu se développer, se rapprochant de ceux issus des nanotechnologies, des microtechnologies et de la microélectronique, qui relèvent davantage d’une approche descendante. Parmi ces avancées, une technique issue de la stéréolithographie monophotonique s’est particulièrement démarquée : la multiphotonique. Cet article met en lumière des applications potentielles de ces procédés, en gardant à l’esprit la nécessité de concevoir des nano et microdispositifs manipulables.
La microélectronique est en quête perpétuelle de miniaturisation, et ce dans le but d'améliorer les performances des dispositifs tout en diminuant leur coût de fabrication. La modélisation des nano-objets est ainsi une voie prometteuse dans des domaines tels que les lasers, les nouvelles technologies de l’information et de la communication ou encore la biodétection. Cet article propose un aperçu de l’évolution des nanotechnologies dans un premier temps. Les différents dispositifs mis en oeuvre et les limites physiques et technologiques de cette modelisation sont par la suite passés en revue. Ainsi, l’auto-organisation spontanée ou encore l’application des boîtes quantiques sont autant d’aspects détaillés.
Eviter la mise en place de couches en fabrication additive (stéréolithographie) ou oublier l’introduction de supports de réalisation d’un objet 3D complexe non déformé, c’est ce que fait l’impression 3D « volumique » par apport précis dans le volume de l’énergie « utile » à la transformation souhaitée. Il s’agit d’exploiter des processus non-linéaires, simultanés ou séquentiels, qui, pour la plupart, font intervenir la lumière. Les avantages précités doivent donc être mis en regard avec le besoin de transparence des milieux réactifs classiques en 3D, empêchant par exemple la réalisation d’objets en métal. Cet article présente l’état de l’art, les tendances actuelles avec des limites, et tout le potentiel de cette technologie en devenir (en particulier en termes de résolution spatiale).
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