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Photolithographie

Photolithographie dans actualités

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Photolithographie dans les ressources documentaires

  • Article de bases documentaires
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  • 10 août 2000
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  • Réf : E2305

Microsystèmes

silicium) et les technologies de base (photolithographie, oxydation, implantation, diffusion, dépôts... de photolithographie qui déterminent les formes planaires des différents motifs. L’ensemble de ces opérations se trouve... ’excitation optique (photolithographique), ce qui permet de réaliser des matrices très denses (plus de 10 000 points... à partir de photolithographie faisant appel à des résines du type PMMA poly(méthacrylate de méthyle...

Les articles de référence permettent d'initier une étude bibliographique, rafraîchir ses connaissances fondamentales, se documenter en début de projet ou valider ses intuitions en cours d'étude.

  • Article de bases documentaires
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  • 10 oct. 2006
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  • Réf : NM540

Nanoimpression et nanomoulage

(­Marcoussis). À ce jour, l'industrie de la microélectronique utilise la photolithographie par projection... ). Dans les laboratoires de recherche, l'utilisation de la photolithographie par contact est plus courante : on dépose d... entre chaque niveau (encadré  1 ). La nanoimpression est une alternative à la photolithographie. Initialement... , comme alternative à la photolithographie  * . ITRS : International Technology Roadmap for Semiconductors...

Les articles de référence permettent d'initier une étude bibliographique, rafraîchir ses connaissances fondamentales, se documenter en début de projet ou valider ses intuitions en cours d'étude.

  • Article de bases documentaires
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  • 10 janv. 2005
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  • Réf : NM545

(Nano)structuration douce de surfaces

 nanomètres, les technologies de photolithographie conventionnelle atteignent leur limite , car la longueur d... ) lithographie Pour remplacer la photolithographie optique conventionnelle (figure  1 ) dans la fabrication...

Les articles de référence permettent d'initier une étude bibliographique, rafraîchir ses connaissances fondamentales, se documenter en début de projet ou valider ses intuitions en cours d'étude.


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