Les réacteurs de dépôt de couche minces par ALD (Atomic Layer Deposition) pour une variété d'applications de recherche, de développement et de fabrication sont présentés dans cet article. L'ensemble des conditions physiques et chimiques aux échelles nano- et micrométrique nécessaires pour obtenir un processus de croissance ALD sont passées en revue. Ensuite, les différentes approches qui ont été ...
Les articles Recherche et Innovation présentent des technologies en cours de développement, émergentes, qui n'ont pas encore atteint leur pleine maturité pour un développement industriel mais sont prometteuses.
physiquement séparés par des étapes de purge intermédiaires. L’ ALD Spatial (SALD) est une variation récemment... par des étapes de purge (et donc séparés dans le temps). Dans le deuxième, les précurseurs sont fournis... , comme une alternative à la purge sous vide SUNTOLA (T.S.), PAKKALA (A.J.), LINDFORS (S.G.) - Apparatus for performing... les différents précurseurs, qui sont séparés par une zone de purge (Figures 1 et 3 dans DICKEY (E.), BARROW (W...
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’eau : Comment espacer les arrêts pour maintenance ? Optimisation du rendement ? Récupération d’énergie des purges... , tout en limitant au maximum sa consommation (moins de purge possible). Elle vient en complément des retours... diverses (purge, vapeur perdue, etc.). Eau alimentaire Il s’agit de l’eau qui alimente la chaudière... de l’énergie des purges impactent positivement ou négativement le rendement de la chaque chaudière...
Les articles de référence permettent d'initier une étude bibliographique, rafraîchir ses connaissances fondamentales, se documenter en début de projet ou valider ses intuitions en cours d'étude.
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