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À la une
réacteurs ALD... Les réacteurs de dépôt de couche minces par ALD (Atomic Layer Deposition) pour une variété d... et technologies à la base des réacteurs de dépôt ALD. Un [...]
10 nov. 2016
de dépôt et suivant le type de réacteur ALD utilisé. Le TiN reste le matériau le plus utilisé pour le métal... parcourue dans l’enceinte chauffée varie d’un étage à l’autre. La fenêtre ALD de ce type de [...]
10 nov. 2016
ainsi que les réacteurs associés. La seconde section porte sur les avantages d’une assistance plasma dans un procédé ALD... , avec le développement de réacteurs plasmas atmosphériques pour assister l’ALD et [...]
10 oct. 2016
Issue de travaux de deux laboratoires de recherche, la start-up Cilkoa développe un procédé consistant à déposer une couche nanométrique de céramique sur une...
