Bibliographie
Dépôt de films nanométriques en pulvérisation cathodique radiofréquence

RéférencesBLAISE (G.)Aspects cinématiques de l'interaction ion-surface.LIMOGE (Y.)Le vide, les couches minces. Suppl. n^o 224, SFV (1984).SIGMUND (P.)Theory of spottering. Physical Review vol. 181, n^o 2 (1969).AutresSERWAY (R.)Physics for Scientists and Engineers. Third edition, Saunders College Publishing.RAIZER (Yu.P.)Gas Discharge Physics. Springer.Interactions plasmas froids matériaux. Journée d'études « Oléron 87 », Les éditions de la physique.MAHAN (J.E.)Physical vapor deposition of thin films. Wiley Interscience Publication.Le vide les couches minces. Suppl. n^o 224, Société française du Vide.