1. ALD et capteurs
Les capteurs sont des dispositifs importants ayant de nombreuses applications dans la vie de tous les jours. En effet, il est essentiel de pouvoir détecter et quantifier la présence de gaz, le pH, la présence de diverses espèces/molécules en solution, les radiations UV, etc. pour des raisons environnementales ou de sécurité ainsi que pour le contrôle de procédés industriels ou des diagnostics et suivis médicaux.
Les capteurs sont formés d’un transducteur, qui est la partie sensible présentant une modification de ses propriétés physiques en présence de l’espèce à détecter, et d’un dispositif de mesure du changement de propriétés du transducteur. Par exemple dans le cas de la détection de gaz, la partie sensible est souvent un oxyde métallique, sous forme soit de film soit de poudre compactée,...
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ALD et capteurs
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