4. Conclusion
À travers des exemples choisis, le potentiel de la technique ALD pour des applications comme capteurs a été mis en évidence. Si des films plans ultraminces ont été étudiés pour la détection de gaz, l’élaboration de nanostructures et la formation d’hétérojonctions par ALD démontrent tout l’apport de cette technique de dépôt par rapport à des méthodes plus conventionnelles. En effet, elle permet un contrôle très précis non seulement de l’épaisseur mais aussi de la composition, de la morphologie et de la structuration du revêtement. Ceci permet alors l’étude fondamentale des phénomènes et mécanismes mis en jeu dans le processus de détection.
Le contrôle précis de l’épaisseur combiné à l’uniformité des couches ALD permet l’accès à de nouvelles approches pour la conception de nanopores et de membranes. Contrôler le diamètre des pores, la géométrie et les interactions...
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