Analyse des propriétés fonctionnelles in situ : étude des propriétés électriques
Apport de la caractérisation in situ dans les procédés ALD

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Analyse des propriétés fonctionnelles in situ : étude des propriétés électriques
Apport de la caractérisation in situ dans les procédés ALD

Auteur(s) : Jean-Luc DESCHANVRES, Carmen JIMENEZ

Date de publication : 9 octobre 2026

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4. Analyse des propriétés fonctionnelles in situ : étude des propriétés électriques

En utilisant un dispositif développé ad hoc, il est possible de suivre la variation des propriétés électriques des matériaux. Ce type de mesure in situ est plus difficile de mettre en œuvre, car elle demande d’adapter le substrat à une certaine configuration, comme celles développées par Schuisky  ou par J.-S. Na et al. 

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