Interaction ion/matière
Faisceaux d'ions - Théorie et mise en oeuvre

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Interaction ion/matière
Faisceaux d'ions - Théorie et mise en oeuvre

Auteur(s) : Franck FORTUNA, Erwan OLIVIERO, Marie-Odile RUAULT

Date de publication : 10 décembre 2009

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1. Interaction ion/matière

1.1 Contexte

Un des points les plus importants dans l'interaction ion/matière est de pouvoir décrire la distribution des ions implantés, qui est, bien-sûr, reliée étroitement à la perte d'énergie des ions au cours de leur parcours dans le solide (cf. §  1.3 ). Ce point a été largement développé, aussi bien théoriquement (cf. §  1.3.6

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