2. Techniques de caractérisation des structures multi-nanocouches
Une caractérisation complète de ces structures multi-nanocouches (nombre de couches, continuité, régularité, homogénéité, épaisseur) est indispensable dans l’optique d’un contrôle qualité et d’une démarche de mise en relation entre la structure et les propriétés. Dans la mesure où une caractérisation « directe » des couches est recherchée, les
techniques d’observation
microscopiques semblent les plus pertinentes et sont celles abordées dans cet article. Néanmoins, un certain nombre de difficultés apparaissent du fait du caractère multi-nanocouche des films :
lorsque les couches sont très fines et très nombreuses, il est difficile de trouver une technique d’observation et d’analyse pertinente, directe, fiable, permettant de concilier vue globale et locale, ce qui pose d’emblée la question de la taille...
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Techniques de caractérisation des structures multi-nanocouches