4. Localisation des impacts d'ions et reconstruction des images
Les sondes atomiques 3D doivent leur développement à la mise au point d'un détecteur sensible à la position et résolu en temps. Outre le temps de vol, le détecteur donne la position des impacts des ions (
X, Y
). Selon le détecteur utilisé, la précision de localisation peut atteindre 100 μm. Diverses technologies ont été développées depuis les premiers instruments dans les années 1990. Les
détecteurs actuels
sont constitués d'un jeu de deux lignes à retards croisées (lignes enroulées, figure
5
). Celles-ci sont placées derrière une paire de galettes de microcanaux (amplificateur...
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