Rôle en nanoscience et nano-électronique
Sonde atomique tomographique SAT

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Rôle en nanoscience et nano-électronique
Sonde atomique tomographique SAT

Auteur(s) : Didier BLAVETTE, François VURPILLOT, Bernard DECONIHOUT

Date de publication : 10 décembre 2013 | Read in english

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9. Rôle en nanoscience et nano-électronique

L'élaboration des échantillons a longtemps été un des verrous majeurs dans l'utilisation de la SAT en nanosciences (multicouches magnétiques, puits quantiques, nanofils, nanotransistors MOSFET). Ce verrou est désormais levé. Les pointes, forme d'échantillon obligée pour faire l'analyse en SAT, peuvent être « nano-usinées », par faisceau d'ions focalisés FIB ( Focused Ion Beam   ). Il est ainsi possible de fabriquer une pointe ( R  = 30 nm) dans une zone parfaitement repérée sous le contrôle du microscope électronique à balayage auquel est intégrée la colonne FIB 

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