9. Glossaire – Définitions
Clusters
Ions formés d'amas polyatomiques.
Dalton
Unité de masse atomique.
Détection parallèle
Détection simultanée de plusieurs ions secondaires.
Détection séquentielle
Détection des ions secondaires masse par masse successivement.
Nano-SIMS
SIMS à haute résolution spatiale (appellation commerciale).
Profilage analytique
Mesure de la composition en fonction de la profondeur depuis la surface.
SIMS dynamique
Analyse SIMS sous un courant primaire élevé et tel que la détection et l'érosion sont simultanées....
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Glossaire – Définitions
Sources bibliographiques
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