Profilage analytique
Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Procédures d'analyse et performances

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Profilage analytique
Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Procédures d'analyse et performances

Auteur(s) : Evelyne DARQUE-CERETTI, Marc AUCOUTURIER, Patrice LEHUÉDÉ

Date de publication : 10 mars 2015 | Read in english

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4. Profilage analytique

4.1 Paramètres de base

Puisqu'elle permet la mesure de la composition en fonction du temps de pulvérisation, c'est-à-dire de la profondeur de la zone analysée dans l'échantillon, l'analyse ionique est un moyen de choix pour la détermination des variations de concentration en fonction de la distance à la surface. Les aspects traités ci-dessus concernant l'identification des espèces, les limites de détection, l'expression quantitative des concentrations interviennent bien évidemment dans l'analyse en profondeur.

Le problème posé est celui de la précision de la relation concentration (ou signal)-profondeur, c'est-à-dire de la résolution en profondeur de l'analyse. Il ne faut pas confondre, du point de vue des définitions,...

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