1. Spectrométrie, identification
1.1 Paramètres de base
La première opération en analyse par SIMS est le tracé du spectre de masse des ions pulvérisés au cours du bombardement de l'échantillon, qui permet l'identification des éléments présents dans le matériau et, dans certaines conditions, des composés qui le constituent. Les performances recherchées sont une sélectivité la meilleure possible, qui tient compte des problèmes d'interférence entre plusieurs ions de masse égale, et une sensibilité la plus grande possible (limite de détection la plus faible possible) pour détecter les éléments traces.
Certains choix à la disposition de l'expérimentateur sont indépendants...
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Spectrométrie, identification
Analyse quantitative
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