8. Conclusion
Les performances particulières de la microanalyse des matériaux par émission ionique secondaire en font un instrument nécessaire dans les cas suivants :
analyse et dosage quantitatif des impuretés en traces (moins de 1 at. %, et jusqu'à 0,1 ppb at) dans les solides, en particulier les semi-conducteurs ;
analyse et dosage de profils en profondeur sur des distances à partir de la surface bien inférieures à 1 μm ;
analyse des couches minces (épaisseurs entre 1 nm et quelques μm) et des interfaces correspondantes ;
analyse moléculaire des matériaux organiques, en particulierles polymères ;
analyse de surface en mode statique des matériaux organiques ou inorganiques ;
localisation...
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Conclusion
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Sources bibliographiques
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