4. Accéléromètres multiaxes
L'intégration de capteurs miniatures permet d'obtenir aisément un capteur biaxe sur une même puce par intégration de deux cellules uniaxes mesurant l'accélération dans le plan de la puce ou d'une cellule biaxe
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. Toutefois, les systèmes à peignes capacitifs interdigités (réalisés par gravure de couches minces en surface) qui servent à la mesure des accélérations dans le plan de la puce ne peuvent pas être utilisés pour la mesure de l'accélération hors plan. Il est alors nécessaire de développer une cellule de mesure à cet effet, ce qui se traduit le plus souvent par une sensibilité différente suivant cet axe. Un exemple est donné pour un capteur deux axes en figure
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Accéléromètres multiaxes