Techniques de mesure
Ellipsométrie - Théorie

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R6490 V1 Article de référence

Techniques de mesure
Ellipsométrie - Théorie

Auteur(s) : Frank BERNOUX, Jean-Philippe PIEL, Bernard CASTELLON, Christophe DEFRANOUX, Jean-Hervé LECAT, Pierre BOHER, Jean-Louis STEHLÉ

Date de publication : 10 juin 2003 | Read in english

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2. Techniques de mesure

Plusieurs techniques de mesure de polarisation par réflexion existent ; elles utilisent toutes le montage optique suivant : une source, un polariseur, un analyseur, un détecteur. Ce sont les constituants de base auxquels peuvent être ajoutés différents éléments comme des modulateurs, un compensateur, etc.

2.1 Méthode de zéro

Cette méthode utilise l’extinction du signal pour effectuer une mesure angulaire  [1] .

Le montage optique est constitué d’une source monochromatique (laser ou lampe filtrée), d’un polariseur, d’un compensateur (par exemple une lame quart d’onde), d’un analyseur et d’un photomultiplicateur (figure 

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