2. Extensions
2.1 L’ellipsométrie infrarouge
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Présentation
L’ellipsométrie spectroscopique infrarouge présente un grand intérêt dans la mesure où, dans cette gamme spectrale, les matériaux possèdent un comportement très différent de celui que l’on peut observer dans le visible :
les diélectriques présentent des bandes de vibration moléculaire, signature des molécules composant ces couches. Ces bandes de vibration sont modélisées par un ou plusieurs oscillateurs harmoniques dont les amplitudes donnent accès aux concentrations des espèces présentes dans la couche ;
la plupart des semi-conducteurs sont transparents ;
les métaux et...
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