Comparaison avec d’autres techniques
Ellipsométrie - Instrumentation et applications

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R6491 V1 Article de référence

Comparaison avec d’autres techniques
Ellipsométrie - Instrumentation et applications

Auteur(s) : Frank BERNOUX, Jean-Philippe PIEL, Bernard CASTELLON, Christophe DEFRANOUX, Jean-Hervé LECAT, Pierre BOHER, Jean-Louis STEHLÉ

Date de publication : 10 juin 2003 | Read in english

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4. Comparaison avec d’autres techniques

De nombreuses techniques d’analyse de surface sont disponibles commercialement. Nous donnons ici des exemples de différentes applications et, pour chaque application, les techniques les plus couramment utilisées (le tableau  1 donne les performances de ces méthodes).

4.1 Caractérisation d’état de surface

Les techniques considérées ici ne donnent pas d’information en profondeur dans le matériau, mais permettent de visualiser à des échelles différentes l’ aspect de surface d’un échantillon [22] .

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