1. Instrumentation
Nous décrivons ici le cas d’un ellipsomètre à polariseur tournant (modèle SOPRA GESP5) permettant d’expliquer la réalisation pratique d’un appareil de mesure (figure 1 ).
L’instrument est composé d’un bras source et d’un bras détecteur pouvant être orientés par rotation sur un goniomètre autour d’un axe passant par la surface de l’échantillon.
L’angle d’incidence est défini par l’axe optique du bras source et la normale à la surface de l’échantillon
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Source
La source utilisée est une lampe à arc court...
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