5. Capteurs utilisant la force atomique ou l’attraction moléculaire
5.1 Principe
Les atomes subissent des forces d’attraction ou de répulsion à distance en fonction du couple d’éléments chimiques en présence. La loi de variation en fonction de la distance d est en 1/d2, car ce sont principalement les forces électrostatiques qui interviennent. Cet effet est utilisé pour effectuer la mesure de profil ou de forme de la surface. Lorsqu’il y a hétérogénéité, la force exercée sur la pointe n’est pas seulement orthogonale à la surface, la lame qui supporte la pointe subit une torsion qui peut aussi être mesurée.
Le capteur est réalisé à l’aide d’une pointe placée à l’extrémité d’une lame cantilever, un système de mesure de déplacement optique sans contact mesure la flèche de la lame avec une résolution de 0,01 nm (figure
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Capteurs utilisant la force atomique ou l’attraction moléculaire
Capteurs à effet tunnel
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