1. Corps d'épreuve
Encadré 1 – Quelques points de repère technologiques
Jauges métalliques collées : 1954
Jauges semi-conductrices : 1954
Détecteur inductif LVDT : 1960
Jauges semi-conductrices diffusées dans la membrane silicium : 1960
Jauges déposées en couches minces : 1968
Capteur capacitif : 1974
Jauges déposées en couches épaisses : 1975
Puce en silicium micro-usiné : 1980
Quartz vibrant : 1983
Bus de terrain : 1990
MEMS/MOMS : 2000
Liaisons radio/Interconnexion réseaux : 2007
La pièce maîtresse d'un capteur est le...
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Corps d'épreuve
Sources bibliographiques
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(1) - BLASQUEZ (G.) et al - Static response of miniature capacitive pressure sensors with square and rectangular diaphragm - Revue de Physique Appliquée, 22, p. 505-510 (1987).
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(2) - TIMOSHENKO (S.), WOINOVSKY-KRIEGER (S.) - Theory of plates and shells - McGraw-Hill...
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