Production du vide
Nature et qualité du vide - Contamination

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Production du vide
Nature et qualité du vide - Contamination

Auteur(s) : Jean LECLERC

Date de publication : 1 octobre 1997 | Read in english

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1. Production du vide

1.1 Généralités

Faire le vide ou réaliser le vide dans une chambre de travail ou une enceinte consiste à diminuer (en principe, par élimination) le nombre de molécules des différents gaz présents de ce volume.

À la pression atmosphérique normale (1,01325.105 Pa), dans un volume d’un litre à 0 °C, il y a 2,7.1022 molécules et atomes de gaz. En vide primaire, c’est à dire à 10−1 hPa, il en reste donc encore 2,7.1018 molécules, soit 99,99 % de vide. C’est la nature de ces molécules restantes (soit 2,7.1018 par litre) qui intéresse l’exploitant, car elles sont sources de mauvaise qualité d’un produit ou de dysfonctionnement dans un système. Si l’on passe à un niveau de pression de 10−6 hPa, il reste encore 2,7.1013 molécules...

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