2. Évolution de la nature chimique
Au cours de la descente en pression dans l’enceinte de travail nous avons un changement radical de la nature chimique des molécules responsables de la pression résiduelle.
2.1 Prévidage (vide primaire)
Cette opération évacue les gaz de l’atmosphère à environ 10 2 Pa. Les espèces chimiques rencontrées sont celles introduites dans la chambre au début du procédé. Dans de nombreux cas, il s’agit, bien sûr, de l’air atmosphérique c’est-à-dire de l’azote, de l’oxygène, de l’argon et de la vapeur d’eau . Pour certains procédés et afin d’améliorer le temps de descente, en pression il est sage d’éviter des rentrées d’humidité dans l’enceinte et l’on casse...
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Évolution de la nature chimique
Qualité du vide. Contamination du vide
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