Mesure de l’atmosphère résiduelle
Nature et qualité du vide - Contamination

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Mesure de l’atmosphère résiduelle
Nature et qualité du vide - Contamination

Auteur(s) : Jean LECLERC

Date de publication : 10 octobre 1997 | Read in english

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4. Mesure de l’atmosphère résiduelle

4.1 Généralités

On demande à un chimiste-analyste : qu’y a-t-il dans ce produit ? Celui-ci vous répond : que recherchez-vous ? En effet, le chimiste ne peut pas deviner, parmi les millions d’espèces chimiques existantes, celles que vous souhaitez trouver. Aussi, l’expertise des atmosphères gazeuses relève d’une démarche particulière. Ce sont des mesures difficiles, car elles résultent d’un équilibre entre les molécules dans la phase gazeuse et les molécules absorbées sur les parois. Le moindre apport d’énergie sur la surface va remettre dans la phase gazeuse des molécules nouvelles qui vont se réadsorber ailleurs. L’instrument de mesure crée d’ailleurs une certaine perturbation dans le milieu (dégazage provoqué par le filament).

Quels sont donc les moyens que...

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