5. Mesure de la contamination des surfaces
Dans le système sous vide, nous avons affaire, suivant les besoins, à deux types de contamination :
la contamination par l’atmosphère gazeuse, qui est accessible par l’analyse des gaz résiduels ;
la contamination des surfaces par des traitements physico-chimiques, qui est accessible par les techniques d’analyse de surface (spectroscopie Auger, S.E.M. Scanning Electron Microscope - X.P.S. Xray Photoelectron Spectroscopy ) ; toutes ces techniques sont à mettre en œuvre quand il s’agit de mesurer la propreté d’une enceinte
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Mesure de la contamination des surfaces
Conclusion : Qualité du vide. Le vide propre
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