2. Exemples et applications industrielles
Nous donnons ici un aperçu des capteurs MEMS industrialisés. Le paysage est en évolution et les fabricants sont nombreux, il n’est donc pas possible de tous les citer.
2.1 Accéléromètres
Il existe, sur le marché, des accéléromètres mono, bi et tri-axes. L’électronique de conditionnement est généralement intégrée sur la même puce ou dans le même boîtier. Ceci permet de convertir l’accélération en signal analogique ou numérique.
Parmi les principaux fabricants d’accéléromètres, on trouve ST-Microelectronis, Analog Devices ou Bosch (voir quelques exemples dans le tableau 4 ).
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Exemples et applications industrielles
Perspectives pour les microcapteurs
Sources bibliographiques
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