Une des applications du laser est en interférométrie pour des mesures de courte distance, dont les mesures dimensionnelles de grande précision nécessaire à l’étalonnage des instruments et règles de mesure. Ces mesures de longueur ou de déplacement sont effectuées par comparaison à la longueur d’onde du rayonnement utilisé, et le raccord à l’unité de longueur est alors direct. Après des rappels théoriques sur le principe d’interférométrie, cet article présente trois exemples de systèmes interférométriques. Il aborde ensuite les différentes incertitudes de mesure liées à cette technique de mesure, puis les méthodes permettant l’étalonnage d’interféromètre laser.
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Geneviève LIPINSKI : Ingénieur au Laboratoire National d’Essais (LNE), section Métrologie dimensionnelle
INTRODUCTION
La 17
e
Conférence générale des Poids et Mesures au BIPM a décidé, le 20 octobre 1983, d’opter pour une nouvelle
définition du mètre
, qui s’énonce comme suit :
« Le mètre est la longueur du trajet parcouru dans le vide par la lumière pendant une durée de 1/299 792 458 de seconde ».
Avec cette définition, la valeur de la vitesse de la lumière dans le vide est exactement de :
c
=
299 792 458 m/s
Les définitions précédentes du mètre (le Mètre Étalon en platine, déposé au pavillon de Breteuil, puis la définition fondée sur la raie orangée de la lampe spectrale au krypton 86) ont été successivement abandonnées au profit d’une définition plus précise.
Les
mesures de longueur ou de déplacement
réalisées par interférométrie, objet du présent article, reviennent à comparer cette longueur à la longueur d’onde du rayonnement utilisé. Les longueurs d’onde d’une radiation lumineuse dans le domaine du visible sont comprises entre 0,4 µm (violet) et 0,7 µm (rouge). Cette méthode de mesure permet donc de se raccorder directement à la définition de l’unité de longueur.
L’utilisation des
lasers asservis en fréquence
au lieu des lampes spectrales a contribué au développement des mesures par interférométrie, même en milieu industriel.
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