1. Méthodes de mesure et instruments utilisés
1.1 Rappel du principe de l’interférométrie à balayage de phase
L’interféromètre de Fizeau est utilisé pour la mesure de surfaces planes, sphériques ou légèrement asphériques. L’analyse des franges peut être faite de manière statique (on parle d’interféromètre d’atelier), mais la méthode à balayage de phase (« phase shifting interferometry » est la plus utilisée. En enregistrant les images d’intensité pour plusieurs valeurs de déphasage connues par le déplacement, soit de surface de référence (appelé également miroir de référence ou miroir étalon), soit du miroir à mesurer, ou bien par variation de la longueur d’onde, on reconstruit, par des algorithmes appropriés, la surface comparativement à la surface de référence
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Méthodes de mesure et instruments utilisés
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Sources bibliographiques
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