3. Conclusions, dernières tendances et challenges
3.1 Métrologie à l’échelle submicronique
Des mesures de température ont d’ores et déjà été démontrées par SThM sur des systèmes de très petites dimensions.
À l’échelle micrométrique, l’ étalonnage de la SThM consiste en fait en une transposition de celui utilisé pour la mesure en contact de la température aux échelles plus...
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Conclusions, dernières tendances et challenges
Sigles, notations et symboles
Sources bibliographiques
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"Mesures mécaniques et dimensionnelles"
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