4. Technologies de fabrication
La mise en œuvre des capteurs de gaz à oxydes métalliques date des années soixante avec les travaux de Taguchi suivi d’une commercialisation en 1968 par la société Figaro Engineering Inc. Ces premiers capteurs sont composés d’un filament chauffant (nécessaire pour l’activation de la chimisorption) noyé dans des poudres d’oxyde frittées de ZnO, puis de SnO 2 .
Avec le développement des nouvelles technologies de la microélectronique dans les années 1980, les capteurs de gaz ont été réalisés sur des plateformes micro-usinées à base de silicium....
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Technologies de fabrication
Principaux capteurs à base d’oxydes métalliques et leurs applications
Sources bibliographiques
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