2. Aspects technologiques
2.1 Colonne électronique
La microsonde et le microscope électronique à balayage possèdent une colonne électronique quasiment similaire : un canon à électron, trois lentilles électromagnétiques et différents détecteurs (électrons secondaires et rétrodiffusés) (figure 11 ). Les principales différences résident, d'une part, dans la nature du canon qui, pour la microsonde, utilise de préférence, pour des raisons de stabilité, une source thermoélectronique à filament de tungstène (bien qu'il soit possible d'y adapter une cathode LaB 6 et qu'une microsonde équipée d'une source à émission Schottky ait été commercialisée) et,...
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Aspects technologiques
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