La microanalyse X par sonde électronique consiste à analyser le spectre caractéristique de rayons X généré dans une cible par un faisceau d'électrons finement focalisé. Cet article détaille les applications principales de cette technique d’analyse. L’analyse chimique purement qualitative, avec l’acquisition d’un spectre de rayons X, permet sans difficulté la détection d’éléments majeurs, ce qui n’est pas le cas pour ceux en faible concentration. La cartographie X permet d’accéder à la répartition de l’élément analysé. La microanalyse X par sonde électronique va plus loin, la quantification est rendue possible grâce à la connaissance des processus physiques liés à la diffusion électronique dans la cible, à l'ionisation et à l'absorption photoélectrique du rayonnement X engendré.
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Jacky RUSTE : Ingénieur INSA, docteur-ingénieur, ingénieur senior - EDF recherches et développement, Centre des Renardières - Département matériaux et mécanique des composants (Moret-sur-Loing)
INTRODUCTION
Cet article fait suite au texte [P 885v2] qui s'intéressait aux aspects théoriques instrumentaux de la microanalyse X par sonde électronique.
On peut distinguer trois applications principales : l'analyse chimique purement qualitative, la cartographie X et l'analyse quantitative.
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