7. Microanalyse en STEM
En microanalyse X sur échantillon massif, la résolution spatiale est typiquement de l'ordre de grandeur du micromètre, latéralement comme en profondeur (figure 21 a ). Si l'on veut analyser des volumes beaucoup plus faibles, il faut se tourner vers la microscopie électronique en transmission et les échantillons minces. La résolution spatiale est alors pilotée par le diamètre de la sonde d 0 , légèrement augmentée par les effets (modérés) de la diffusion électronique (figure 21 b ) que l'on peut estimer par la relation suivante :
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Microanalyse en STEM
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