6. Microanalyse en mode « pression contrôlée » ou en chambre environnementale
Les microscopes électroniques à balayage à pression contrôlée et à chambre environnementale connaissent un développement important. Issus des travaux de Danilatos, ils se caractérisent par une pression élevée dans la chambre échantillon, grâce à un vide différentiel avec la colonne, et qui peut atteindre plusieurs centaines de Pa. Cela permet d'observer des échantillons hydratés, fragiles ou isolants, en raison des interactions des faisceaux électroniques primaire et secondaire avec le gaz résiduel de la chambre. En contrepartie, ces interactions provoquent une diffusion du faisceau électronique primaire (
skirting
) qui modifie fortement la résolution spatiale de l'analyse
Cette diffusion...
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Microanalyse en mode « pression contrôlée » ou en chambre environnementale
Microanalyse en STEM
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