1. Principe
L’observation du microrelief d’une surface est impossible à fort grandissement avec un microscope optique conventionnel (« photonique »). En effet, le pouvoir séparateur (ou résolution spatiale latérale) est limité à environ 0,2 μm et, au grossissement maximal de 1 500, la profondeur de champ est limitée à environ 1 μm. Les valeurs de ces deux paramètres dépendent de la longueur d’onde des rayonnements visibles, et de l’ouverture du faisceau, et ne peuvent être améliorés. C’est pourquoi s’est développée l’idée de former une image d’un échantillon à partir :
soit d’un faisceau d’électrons suffisamment accélérés pour que la longueur d’onde associée soit inférieure au nanomètre : c’est la microscopie électronique en transmission, désignée généralement par le sigle MET, ou TEM en anglais (Transmission Electron Microscopy) ;
...
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Rappels sur les interactions électrons-matière
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