4. Nouveaux développements en microscopie électronique à balayage
Pendant de nombreuses années, des progrès constants ont été accomplis dans la conception et la fabrication des microscopes électroniques à balayage :
pour améliorer la résolution spatiale : en réduisant les aberrations des lentilles électroniques, en améliorant le rendement des détecteurs et en améliorant la brillance des canons à électrons tout en réduisant les coûts ;
pour adapter son usage à l’industrie des composants électroniques : chambres « objet » appropriées, optimisation du fonctionnement à basse tension ;
pour faciliter le pilotage par l’informatisation ;
pour intégrer dès la conception la numérisation des images acquises.
Plus récemment, de nouvelles applications se sont développées à partir...
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Nouveaux développements en microscopie électronique à balayage
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